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介绍半导体外延片霍尔效应测试的理论和方法,利用霍尔效应测试可以更好地研究半导体材料电学性能,在外延片的研制过程中测试外延层的载流子浓度,利用范德堡法测试电阻率以及载流子迁移率等参数.
基于霍尔效应的半导体外延片电参数测试
【摘 要】
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介绍半导体外延片霍尔效应测试的理论和方法,利用霍尔效应测试可以更好地研究半导体材料电学性能,在外延片的研制过程中测试外延层的载流子浓度,利用范德堡法测试电阻率以及
【机 构】
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华南师范大学光电子材料与技术研究所
【出 处】
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传感器技术
【发表日期】
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2004年2期
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