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在因子分析模型的基础上,使用主成分分析方法计算载荷矩阵,选取全部公共因子,并考虑对应因子的贡献率,建立基于权重系数的多变量工序能力指数计算模型。该模型能克服多变量个数的限制问题。实例分析表明,计算结果能有效地反映工艺水平的变化。
基于权重系数的多变量工序能力指数计算模型
【摘 要】
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在因子分析模型的基础上,使用主成分分析方法计算载荷矩阵,选取全部公共因子,并考虑对应因子的贡献率,建立基于权重系数的多变量工序能力指数计算模型。该模型能克服多变量个
【机 构】
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西安电子科技大学微电子学院,宽禁带半导体材料与器件教育部重点实验室
【出 处】
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微电子学
【发表日期】
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2007年04期
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