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本文介绍LEO SUPRA系列热场发射扫描电子显微镜的性能及特点,主要包括肖特基场发射电子源、电子光学系统以及检测器等.
LEO SUPRA系列热场发射扫描电子显微镜
【摘 要】
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本文介绍LEO SUPRA系列热场发射扫描电子显微镜的性能及特点,主要包括肖特基场发射电子源、电子光学系统以及检测器等.
【机 构】
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北京师范大学分析测试中心
【出 处】
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现代仪器
【发表日期】
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2005年2期
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