“绽放在纳米世界的玫瑰”

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【摘要】

：

在NaCl单晶衬底上利用磁控溅射方法制备Cu纳米薄膜,样品厚度约为15 nm。电压为500 V,氩气保护,气压值为5×10-1 Pa。利用去离子水将溅射在NaCl单晶衬底上的Cu纳米薄膜剥

【作者】

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岳永海

【机构】

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北京工业大学固体微结构与性能研究所

【出处】

：

电子显微学报

【发表日期】

：

2011年1期

【关键词】

：

纳米薄膜玫瑰世界磁控溅射 NACL 透射电镜氩气保护去离子水

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在NaCl单晶衬底上利用磁控溅射方法制备Cu纳米薄膜,样品厚度约为15 nm。电压为500 V,氩气保护,气压值为5×10-1 Pa。利用去离子水将溅射在NaCl单晶衬底上的Cu纳米薄膜剥离并放到自制的3mmTEM拉伸台上，放入透射电镜进行原位变形实验观察（图片在JEOL-2010F型透射电镜2000X下拍摄获得）

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