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讨论了薄膜厚度控制的非线性和耦合性,应用神经网络串行解耦算法,解决多变量非线性耦合问题,同时还采用了改进的学习算法--动量法,并与传统算法做了仿真比较.仿真结果表明该算法能较好地解决上述难点,从而更好的控制薄膜厚度的均匀性.
神经网络在薄膜厚度控制系统中的应用
【摘 要】
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讨论了薄膜厚度控制的非线性和耦合性,应用神经网络串行解耦算法,解决多变量非线性耦合问题,同时还采用了改进的学习算法--动量法,并与传统算法做了仿真比较.仿真结果表明该
【机 构】
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华东船舶工业学院
【出 处】
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华东船舶工业学院学报
【发表日期】
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2003年4期
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