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测量了具有不同组织形态的Ti-1100和IMI834合金在600℃，150MPa，100h条件下的蠕变栈残余变形量，利用透射电镜观察了蠕变前后合金中的位错和组织形态，分析了两种合金的蠕变变形机制。结果表明Ti-1100合金的蠕变由位错所控制，位错上析出的大量硅化物粒子强烈阻碍着位错的滑移，但局部区域由于位错攀移而出现了动态再结晶。IMI834合金的蠕变由位错和α片层的界面滑移共同控制，其中位错蠕变方式与Ti-1100合金极为相似，而界面滑移蠕变增加了合金的蠕变变形。