【摘 要】
：
微机电系统（MEMS）是利用集成电路制造技术和微架构技术把微结构、微传感器、微执行器、控制处理电路甚至接口、通信和电源等制造在一块或多块芯片上的微型集成系统。MEMS技术是
论文部分内容阅读
微机电系统（MEMS）是利用集成电路制造技术和微架构技术把微结构、微传感器、微执行器、控制处理电路甚至接口、通信和电源等制造在一块或多块芯片上的微型集成系统。MEMS技术是多种学科交叉融合具有战略意义的前沿技术。文中介绍了MEMS的范畴、分类、特点,综述了MEMS的发展历程和各国MEMS技术研发动态及产业现状,分析了MEMS技术目前存在的主要问题及关键技术瓶颈,探讨了MEMS技术的发展趋势及应用热点,对开展MEMS技术研究提供了有益的启示。
其他文献
将竹纸、宣纸、字典纸和新闻纸4种纸张放入含有糠醛气体的密闭容器中,测定不同反应时间下纸张的D65亮度、抗张指数、耐折度和pH值等理化参数,分析探讨糠醛对纸质文献耐久性的
<正> 在进一步总结我国广东、北京等地诊断治疗传染性非典型肺炎经验的基础上,根据医学专家提出的意见,我部对4月14日发布的《传染性非典型肺炎临床诊断标准(试行)》进行了修
目的比较剖腹产术后舒芬太尼、芬太尼及吗啡单次硬膜外镇痛对患者术后尿潴留的影响。方法90例ASAⅠ～Ⅱ级择期硬膜外麻醉下剖腹产患者随机分为三组（n=30），夹闭胎儿脐带时，舒芬太尼
人才质量是决定就业质量的关键,尤其是在互联网金融驱动下金融创新技术不断涌现的今天,把握就业需求才能为社会输出真正有用的复合型人才。因此,以就业为导向的课程教学探究
在中华文化走向世界的当下,中华文化不可或缺的组成部分——岭南文化精品理所当然地遇到了前所未有的历史机遇。而如何让岭南文化精品走向世界是目前急需解决的问题。要解决
随着社会经济的快速发展,我国的城镇化建设和工业化建设进程不断加快,人们的生活水平和质量得到显著的提升,人们在日常的生活中逐渐加强对营养均衡的重视,我国的特色农产品市
审美意识，或者说美感的形成与发展是有其自身的特殊规律的，人的审美意识不是与生俱来的，它只有通过人的审美实践才能形成和发展，而这种审美实践它包含着美术创造和美术欣赏这两方
以南宁树木园为研究对象,结合林场经营状况,采用目标法和专家咨询法构建了3个层次27个指标的林场级森林可持续经营指标体系,结合综合评分法对该公园森林可持续经营状况进行了
文化遗产是一个习用的术语,但在"文化遗产学"的视野下,其本质还值得深入探讨。回顾其生成过程,文化遗产是"文化"与"遗产"的内涵互相衍射的结果,而仅仅作为操作规范的联合国教
在司法制度改革过程中,如何充分发挥检察院的民事检察监督职能,探索有效的民事检察监督方式,实现法律预期目的,是民事诉讼领域有待探讨的问题之一.本文分析了现阶段我国民事