【摘 要】
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基于原子力显微镜的压痕技术具有高分辨、高精度等优点，是表征材料力学性质的重要手段，在材料科学、纳米科学、生物力学等领域有广泛的应用。本文首先对原子力显微镜和相关压痕技术的基本工作原理进行了简要介绍，接着回顾总结了基于原子力显微镜的压痕技术在低维材料、软材料等领域的应用，并且简要综述了原子力显微镜技术在二维材料高压相变方面的最新研究进展。着重介绍了基于原子力显微镜的新型埃压痕技术，该技术可施加亚纳米
【基金项目】
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国家自然科学基金（12102386）;国家自然科学基金（12192211）；
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基于原子力显微镜的压痕技术具有高分辨、高精度等优点，是表征材料力学性质的重要手段，在材料科学、纳米科学、生物力学等领域有广泛的应用。本文首先对原子力显微镜和相关压痕技术的基本工作原理进行了简要介绍，接着回顾总结了基于原子力显微镜的压痕技术在低维材料、软材料等领域的应用，并且简要综述了原子力显微镜技术在二维材料高压相变方面的最新研究进展。着重介绍了基于原子力显微镜的新型埃压痕技术，该技术可施加亚纳米级别的压痕深度，有效表征与调控二维材料的层间耦合作用。最后对基于原子力显微镜的压痕技术在未来的发展和应用进行了展望。
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