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高功率激光器工作时，由于谐振腔反射镜上的光强分布不均匀，会导致镜面温度不均匀，从而造成镜面的角向偏转，致使激光器光轴发生偏转，严重影响输出光束质量，甚至造成不出光。文中主要从实验研究了CO2激光器虚共焦腔凸面镜失调对激光器输出光束质量的影响，实验结果表明，当凸面镜失调角接近于由理论计算而得的失调临界角时，输出光斑约为半个圆环，与理论分析非常符合，当凸面镜失调角达到约为失调临界角的4．5倍时，完全停止振荡。