微机械电子系统中的摩擦磨损及研究方向

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介绍了微机械电子系统的概念,分析了微机电系统的摩擦磨损机理。结合近年来研究成果,根据微机电与传统机械摩擦磨损的不同,总结出了微机械电子系统摩擦磨损设计中的研究方向。
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