【摘 要】
：
硅化镍(NiSi)因具备低硅耗、低电阻率、低热预算、没有明显线宽效应等特性,被广泛应用于源漏极接触部分和栅极与金属的接触部分中。工艺中,加热条件的变化会导致生成不同的Ni
【机 构】
：
中国科学院大学微电子学院; 中国科学院微电子研究所; 中芯国际集成电路制造有限公司;
【基金项目】
：
国家科技重大02专项资助项目(2011ZX02103-003);国家高技术研究开发863计划资助项目(2015AA010601);微电子研究所微电子器件与集成技术开放项目;中国科学院和中国科学院青年创新促进协会资助项目(2015097)
论文部分内容阅读
硅化镍(NiSi)因具备低硅耗、低电阻率、低热预算、没有明显线宽效应等特性,被广泛应用于源漏极接触部分和栅极与金属的接触部分中。工艺中,加热条件的变化会导致生成不同的Ni基硅化物,均一性也会根据加热方式产生变化,影响器件的性能。对先导工艺中Ni基硅化物在不同工艺流程里不同的固相反应进行了对比分析,研究了低温浸入式退火加高温尖峰退火以及低温浸入式退火加高温激光退火这两种方法对生成Ni基硅化物的影响,发现硅化物电阻值主要取决于低温浸入式退火的温度,硅化物均一性主要取决于高温退火方式。该研究结果对实际工艺加工有参考作用。
其他文献
20世纪中国文坛上,郑伯奇是一位有贡献的作家,有影响的文学家。他一生紧紧追随时代前进,而又始终坚持独立思考及其独特的艺术个性。他笔耕不辍,执笔时间近60年,著述颇丰,但大
党的十八大以来，关于中国道路的研究虽然成果丰硕，但有些基本问题还有待于进一步厘清和辨析，从而发掘中国道路的学术内涵、规范中国道路的学术表达。这些问题主要是：中国道路产生
随着我国资本市场的蓬勃发展和高频数据的不断普及,金融市场的波动性也在不断加剧。有效的管理和准确的预测金融市场的风险成为目前研究学者的研究重点。其中,波动率不仅已经
<正>艺术教育中很大一个部分就是美术教育。当下美术教育与考试就业紧紧地绑在一起,就大学而言,北京除专业美术院校以外,几乎综合性院校及其他专业院校都有美术系或美术专
探讨了城镇化和中小企业集群之间内在的互促机制,对于发展城镇经济而言,城镇化和中小企业集群是驱动城镇经济的两个轮子,城镇化可以促进要素(包括资本、劳动力、信息)的积聚,
我国改革开放走过三十多年不断深入发展的历程，现已逐渐步入深水区。如何适应新形势需要，准确把握政府和市场的相互作用，充分发挥市场对资源配置的决定性作用，成为上至国家下到各
日本筑波科学城作为政府主导型高科技园区的典型代表,在与硅谷的绩效对比中趋于落后,加之面临的国际国内环境变化,筑波科学城在20世纪90年代基于"新筑波计划"进入再创发展阶
撰写和发表科研论文是科研工作的最后环节,也是科研成果产出和学术交流的主要形式。能否在SCI收录期刊上发表论文,是评价个人、团体或学术机构科研能力和学术水平的重要指标
随钻测井资料特别是随钻方位性测井资料在地质导向钻井中起着至关重要的作用,可以预测和判断地层界面、地层方位特征以及水平井井眼轨迹走向。本文阐述了目前常用的几种随钻
随着国内中小型气田陆续被发现,投资少、见效快的一级布站方式成为越来越多的油田公司开发的首选,但由于凝析油中溶解气的存在,造成了单井凝析油计量中存在较大的误差,给凝析