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采用脉冲激光沉积方法在石英玻璃衬底上沉积铁掺杂的非晶碳膜（a-C∶Fe），然后使用真空热蒸发设备在膜上镀铝（Al）电极层，形成Al/a-C∶Fe/Al结构的器件。该器件在±5 V测试电压范围内显示出可逆电致电阻效应，具有较好的开关电压、开关比等参数，可用作电阻型随机存储器。
铝/铁掺杂的非晶碳/铝结构的电致电阻效应研究
【摘 要】
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采用脉冲激光沉积方法在石英玻璃衬底上沉积铁掺杂的非晶碳膜（a-C∶Fe），然后使用真空热蒸发设备在膜上镀铝（Al）电极层，形成Al/a-C∶Fe/Al结构的器件。该器件在±5 V测试电压范
【机 构】
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淮阴师范学院物理系
【出 处】
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人工晶体学报
【发表日期】
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2018年8期
【基金项目】
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国家自然科学基金（U1332205，11274153）；江苏省高等学校大学生创新创业训练计划（201710323045X）
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