【摘 要】
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为了提高测定光学薄膜的损伤阈值的准确性.文中基于光偏转法识别薄膜损伤的模型,搭建了反射式光偏转实验测试系统,采用1-on-1法对SiO2薄膜进行了损伤测试.研究结果表明：像元尺
【基金项目】
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国家自然科学基金资助项目（61378050）, 国家国际科学合作专项（2013DFR70620）, 陕西省教育厅资助项目（12JK0996）
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为了提高测定光学薄膜的损伤阈值的准确性.文中基于光偏转法识别薄膜损伤的模型,搭建了反射式光偏转实验测试系统,采用1-on-1法对SiO2薄膜进行了损伤测试.研究结果表明：像元尺寸为4μm×4μm,光斑接收屏到辐照点的距离为3 264.6mm,SiO2薄膜辐照点的最小斜率变化量为1.23×10^-6.当泵浦光束能量密度小于等于SiO2薄膜的损伤阈值15J·cm^-2时,探测光斑的光强分布发生变化;当泵浦光能量密度大于薄膜损伤阈值15J·cm^-2时,探测光斑大小和样子
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