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本文综述了聚合物在离子注入下对结构、化学、光学、电学等性质的影响,并评估了其潜在用途。
离子注入有机聚合物
【摘 要】
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本文综述了聚合物在离子注入下对结构、化学、光学、电学等性质的影响,并评估了其潜在用途。
【机 构】
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西南技术物理研究所成都610015
【出 处】
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微细加工技术
【发表日期】
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1991年4期
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