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在单晶金刚石的弹性浮动研磨过程中,弹性梁振动对研磨质量有直接的影响。本文主要考虑弹性梁受到轴向和横向冲击后对研磨质量的影响,通过金刚石颗粒与研磨盘之间的相互撞击的作用方式来分析造成金刚石表面缺陷的主要原因。
弹性梁受轴向和横向冲击对金刚石研磨质量的影响研究
【摘 要】
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在单晶金刚石的弹性浮动研磨过程中,弹性梁振动对研磨质量有直接的影响。本文主要考虑弹性梁受到轴向和横向冲击后对研磨质量的影响,通过金刚石颗粒与研磨盘之间的相互撞击的
【机 构】
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广东工业大学机电工程学院
【出 处】
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机电工程技术
【发表日期】
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2010年9期
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