【摘 要】
：
为了提高电容式微波功率检测系统的综合性能,首先建立了MEMS悬臂梁的力学解析模型,研究了MEMS悬臂梁在静电力与弹性力综合作用下的运动规律,并建立了灵敏度的解析模型.研究结
【机 构】
：
南京邮电大学电子与光学工程学院、微电子学院,南京,210023
论文部分内容阅读
为了提高电容式微波功率检测系统的综合性能,首先建立了MEMS悬臂梁的力学解析模型,研究了MEMS悬臂梁在静电力与弹性力综合作用下的运动规律,并建立了灵敏度的解析模型.研究结果表明,灵敏度主要受悬臂梁至下拉极板的初始间距、梁板长度影响.其中,灵敏度与间距成反相关关系,与梁板长度成正相关关系.在34～36 GHz的Ka波段内,根据力学解析模型和灵敏度模型,灵敏度的仿真结果分别为4.4 fF/W@34 GHz、4.1 fF/W@35 GHz、3.7 fF/W@36 GHz,实验测试结果分别为5.0 fF/W@34 GHz、4.5 fF/W@35 GHz、4.0 fF/W@36 GHz.灵敏度的仿真结果与测试结果比较吻合,这对改善电容式微波功率检测系统的综合性能具有一定的指导意义.
其他文献
7月,送走了我的第一届毕业生,他们和我朝夕相处了五年,一起成长,共同进步。当我们含着眼泪相互道别,送走了最后一个学生时,一阵失落袭上心头。接着从教导处传来一个令人忐忑
近年来，小波理论得到了很大的发展，已经广泛应用于图象去噪中。但由于常用的二维张量积小波是各向同性并且方向选择性较差，它只能刻画图象中点的奇异性，难以刻画图象中的边缘和纹
浅黄的草,深黄的桥,银灰的树林,苍灰的河水,独自凭栏的人,逆水游动的鱼,雪山,蓝天,鹤……那色调,那景致,每一处都似乎是闲闲的一抹,却分明有些意味在里边.淡雅,忧郁,沉静,内
自从读了李镇西老师的《多一些“非功利谈心”,如何?》一文后,我的想法就是学习李镇西老师所说的那样,和学生谈话不要等学生出现问题后才带着问题去,这种所谓“功利性”的谈
批示,是上级领导为解决某些问题而向下级和有关部门作出的一种督促建议指导性行为。由于领导同志身份的特殊性,批示在一定范围内具有很大的威慑力,如发生在安徽纪王场乡的“
从文献计量角度出发,整理了国内外2000～2018年间第三代半导体材料SiC、GaN的科技论文,并从整体发展轨迹与研究内容两方面,对SiC、GaN的时间分布、研究力量、研究热点等内容进
宇航用功率VDMOS器件是航天器电源系统中实现功率转换的核心元器件之一.针对航天器对宇航用功率VDMOS器件的发展需求,在总结国内外宇航用功率VDMOS器件产品及技术发展现状的
功率VDMOS器件是航天器电源系统配套的核心元器件之一,在重粒子辐射下会发生单粒子烧毁(SEB)和单粒子栅穿(SEGR)效应,严重影响航天器的在轨安全运行.本文在深入分析其单粒子
提出了一种逆导型(RC) SOI-LIGBT.通过在LIGBT阳极发射结反向并联一个肖特基二极管,在没有增大LIGBT正向导通压降的情况下,消除了传统阳极短路RC-LIGBT在正向导通时的电压折
请下载后查看，本文暂不支持在线获取查看简介。
Please download to view, this article does not support online access to view profile.