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本文介绍了内圆切割方法的最新进展,一种可用于高精度硅片加工的新方法——端磨切割加工技术。并就其技术特点、实用性、实现的途径及存在的问题等做了较详细的介绍。
硅片端磨切割技术
【摘 要】
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本文介绍了内圆切割方法的最新进展,一种可用于高精度硅片加工的新方法——端磨切割加工技术。并就其技术特点、实用性、实现的途径及存在的问题等做了较详细的介绍。
【机 构】
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电子工业部第四十五研究所
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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1993年3期
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