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碳纳米管具有很小的半径、较高的纵横比、高的柔软性能、独特的化学结构和确定的电子特性 ,这一系列性质使得它很适合用作原子力显微镜针尖。针尖的制作原先是手工操作 ,目前应用较广泛的是化学汽相沉积法 (CVD)。这种针尖使原子力显微镜的分辨率得到很大的提高 ,纳米操纵能力大大加强
碳纳米管原子力显微镜针尖的研究进展
【摘 要】
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碳纳米管具有很小的半径、较高的纵横比、高的柔软性能、独特的化学结构和确定的电子特性 ,这一系列性质使得它很适合用作原子力显微镜针尖。针尖的制作原先是手工操作 ,目前
【机 构】
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哈尔滨工业大学精密工程研究所
【出 处】
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微细加工技术
【发表日期】
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2002年03期
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