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作者采用离子束溅射沉积Zr的同时,进行氧离子的轰击,随着注入离子束流密度的变化,所形成的锆氧化物薄膜从非晶态向晶态转化,其形成的晶态薄膜为纳米量级范围内的微晶.实验发现,衬底不同对形成纳米锆氧化物的临界氧离子束流密度也不同.作者还对纳米晶粒的相结构及其化学组成进行了相应的分析.
利用双束技术制备纳米锆氧化物薄膜的研究
【摘 要】
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作者采用离子束溅射沉积Zr的同时,进行氧离子的轰击,随着注入离子束流密度的变化,所形成的锆氧化物薄膜从非晶态向晶态转化,其形成的晶态薄膜为纳米量级范围内的微晶.实验发
【机 构】
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四川大学辐射物理及技术教育部重点实验室@四川大学原子核科学技术研究所
【出 处】
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四川大学学报(自然科学版)
【发表日期】
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2001年6期
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