【摘 要】
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运用分子动力学方法模拟液态硅的扩散性质,结果表明:液态硅中密度的变化并未引起液态硅扩散常数明显规律变化;液态硅扩散常数随温度的变化则可以用Arrhenius经验式较好地拟合
【机 构】
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中国科学院固体物理研究所内耗与固体缺陷开放研究实验室(合肥)
【出 处】
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全国第六届固体内耗与超声衰减学术会议
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运用分子动力学方法模拟液态硅的扩散性质,结果表明:液态硅中密度的变化并未引起液态硅扩散常数明显规律变化;液态硅扩散常数随温度的变化则可以用Arrhenius经验式较好地拟合,由此得到的扩散指数前因子为30.8×10<’-3>cm<’2>·s<’-1>,激活能为0.92eV,二者的数值与其它方法的结果相比均偏大,表明由Tersoff势得到的原子间相互作用大于真实系统中硅原子间的相互作用.
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