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介绍阳极真空弧设备的现象。对弧等离子体特性，阳极的蒸发和起弧方式进行了实验研究。在２５Ａ弧电流下，电子温度０．４￣０．７ｅＶ，电子浓度１０＾１５￣１０＾１７ｍ＾－３，离子通量１０＾１８￣１０＾２０ｍ＾－２ｓ＾－１。
阳极真空弧及其特性研究
【摘 要】
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介绍阳极真空弧设备的现象。对弧等离子体特性，阳极的蒸发和起弧方式进行了实验研究。在２５Ａ弧电流下，电子温度０．４￣０．７ｅＶ，电子浓度１０＾１５￣１０＾１７ｍ＾－３，离子通量１０＾１８￣１０＾２０ｍ＾－２ｓ＾－１。
【机 构】
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烟台大学物理系,兰州大学现代物理系
【出 处】
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真空科学与技术
【发表日期】
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1996年4期
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