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在集成电路真实缺陷检测中，缺陷图像的滤波程度直接影响到后续处理的结果．通过对若干幅实际集成电路真实缺陷图像的分析，提出一种基于数学形态学的集成电路真实缺陷图像滤波方法，该方法不仅能滤除非冗余物缺陷，而且能滤除冗余物缺陷内部噪声，得到纹理一致的冗余物缺陷．
基于数学形态学的集成电路真实缺陷图像滤波
【摘 要】
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在集成电路真实缺陷检测中，缺陷图像的滤波程度直接影响到后续处理的结果．通过对若干幅实际集成电路真实缺陷图像的分析，提出一种基于数学形态学的集成电路真实缺陷图像滤波方法
【机 构】
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西安电子科技大学通信工程学院,西安电子科技大学微电子所
【出 处】
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西安电子科技大学学报
【发表日期】
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2001年2期
【基金项目】
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国家重点实验室基金
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