氧含量对硅片机械强度的影响

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采用氧含量不同的直拉和区熔硅单晶,进行三点弯法测抗弯强度,研究硅中氧含量对硅片强度的影响。 The Czochralski method was used to measure the flexural strength of Czochralski silicon with different oxygen contents of Czochralski and zone-melting silicon single crystals. The effect of oxygen content in silicon on the strength of silicon wafers was studied.
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