【摘 要】
：
在SF6气氛下,分别利用钛宝石飞秒脉冲激光与掺钕钇铝石榴石纳秒脉冲激光对单晶硅表面进行了微构造和重掺杂,以用于光伏材料.对制备的单晶硅表面微结构的形貌、结晶性和硫元素
【机 构】
：
西南科技大学理学院极端条件物质特性联合实验室,中国科学院物理研究所,电子科技大学微电子与固体电子学院
【基金项目】
：
National Natural Science Foundation of China
论文部分内容阅读
在SF6气氛下,分别利用钛宝石飞秒脉冲激光与掺钕钇铝石榴石纳秒脉冲激光对单晶硅表面进行了微构造和重掺杂,以用于光伏材料.对制备的单晶硅表面微结构的形貌、结晶性和硫元素杂质含量与分布进行了研究.实验结果表明纳秒脉冲激光制备的单晶硅表面微结构的薄层电阻较小,缺陷密度较低(结晶性高),硫元素杂质含量较高且在表面分布的范围较广,深度较大(约1μm).此外,材料的可见-近红外波段吸收率可接近80％.基于纳秒脉冲激光微构造的单晶硅的优异性能,在样品表面制备了有效光照面积达8 cm2的太阳能电池.其中,最佳太阳能电池的串联电阻、开路电压、短路电流密度分别为0.5Ω,503mY,35 mA/cm2,转换效率约12％.上述太阳能电池性能还可通过优化制备工艺进一步提高.
其他文献
真空电子器件的频率正向太赫兹频段发展,折叠波导慢波结构是行波管的核心部件,由于真空器件的尺寸与波长具有共渡性,频率越高,互作用结构的尺度越小,加工误差的要求越严格.传
集成紫外固化胶NOA73微球与SU-8微柱制造的亚毫米探针,可以作为关键部件应用于三坐标测量机.NOA73微球通过NOA73对其他溶液的界面张力形成,柱子由深紫外光穿过微球曝光SU-8形
光学光刻技术已广泛应用于微电子机械系统(MEMS)以及集成电路(IC)领域.由于光刻工艺设备的价格十分昂贵,因此利用光刻仿真这一技术来预期工艺结果并优化工艺中存在的问题就显
研究了不同脉冲次数强流脉冲电子束表面改性对CuFe10合金组织及性能的影响.强流脉冲电子束处理CuFe10合金的重熔表面出现了火山坑和直径为100 nm到1μm的富铁球,表明了强流脉
为了提高太赫兹行波管的输出功率,提出了多个传输信号进行功率合成的方法.首先,对D波段多注慢波结构进行设计及功分器的优化;然后,通过微铣削工艺完成了两注THz折叠波导结构
在片上光互连系统中,电光调制器起到将电信号调制为光信号的作用,是光互联系统中的核心部件之一.调制器的3 dB带宽决定着载波所能携带的最大信息量,是衡量调制器性能的核心参
基于激光刻蚀技术,提出了一种新型单晶金刚石微杯形谐振子的三维制造方法.由于高弹性模量、低热弹性阻尼以及较大的声波传递速度等优异的性质,单晶金刚石是一种理想的谐振子
开关技术是影响爆炸箔起爆系统可靠作用、微型化、低能化、集成化的关键技术.电爆炸平面开关是利用强脉冲电流使触发极金属桥箔发生电爆炸,产生高温高压等离子体,使爆炸桥区
单晶金刚石刀具切削单晶硅时后刀面会发生剧烈沟槽磨损,严重影响零件加工质量和刀具寿命.为了从金刚石石墨化转变角度揭示沟槽磨损生长扩展机制,建立了金刚石刀具后刀面具有
采用离子束辅助磁控溅射方法沉积出了纳米晶LaNiAl膜和纳米晶渗氦LaNiAl膜(膜厚约10μm),通过调节Ar-He气氛的比例可控制纳米晶膜中的含氦量(He/LaNiAl的原子分数5.7％～13.8％),通