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概述了国内外高纯硅烷的研究进展,采用氟硅酸制备高纯硅副产氟化盐,分析了实验原料、实验方法、工艺流程、工艺关键点和创新点,对比了该工艺制备高纯硅烷和国内外超大规模集成电路VLSI用硅烷的指标。该技术创新点较多,经济效益、环境效益和社会效益都极其显著,实现了氟硅资源的高效利用。
氟硅酸制备高纯硅副产氟化盐的工艺研究
【摘 要】
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概述了国内外高纯硅烷的研究进展,采用氟硅酸制备高纯硅副产氟化盐,分析了实验原料、实验方法、工艺流程、工艺关键点和创新点,对比了该工艺制备高纯硅烷和国内外超大规模集
【机 构】
：
多氟多化工股份有限公司
【出 处】
：
河南化工
【发表日期】
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2020年6期
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