【摘 要】
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<正> 引言在“低温”等离子体光源中,一般只需考虑两种产生连续辐射背景的机制:电子—离子复合辐射轫和致辐射。Batal等对连续辐射背景的研究只是局限于工作气体Ar的复合辐射
【机 构】
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中山大学化学系,中山大学测试中心,中山大学微电子所510275广州,510275广州
【基金项目】
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国家自然科学基金;高等院校博士学科点专项科研资金
论文部分内容阅读
<正> 引言在“低温”等离子体光源中,一般只需考虑两种产生连续辐射背景的机制:电子—离子复合辐射轫和致辐射。Batal等对连续辐射背景的研究只是局限于工作气体Ar的复合辐射,其绝对强度的测量可用来计算ICP中电子密度和电子温度T_e。实际上,就干扰而言,Ar连续辐射背景的研究并不重要,因为其背景值不难用空白给予扣除。但是,本文发现一些基体如Ca、Mg、Al以及一些过渡金属其浓度较高时也会产生连
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