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采用功率谱密度（PSD）和连续小波方法（CWT）相结合的方法分析磷酸二氢钾（KDP）晶体超精加工表面形貌中的频率特征。采用PSD提取取样长度和周期范围内表面形貌上的所有频率特征,针对PSD得到的三个显著实际频率特征进行频率的提取,同时获得CWT的尺度因子a;用Mexican Hat小波函数实现连续小波变换还原实际频率形貌。结果表明：在采样域内,实际频率为0.0138μm^-1的表面形貌与原始表面极为接近,是KDP晶体超精加工表面形貌及影响表面粗造度的主要频率特征。