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美国华盛顿大学（University of Washington）已经按照将昆虫与半导体芯片连接起来这一基本概念，开始了MEMS元件的开发。在“MEMS2007”国际会议上披露了最初的研究成果。
会飞的MEMS元件将昆虫与半导体芯片连接起来
【摘 要】
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美国华盛顿大学（University of Washington）已经按照将昆虫与半导体芯片连接起来这一基本概念，开始了MEMS元件的开发。在“MEMS2007”国际会议上披露了最初的研究成果。
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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2007年2期
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