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主要研究了退火工艺对钇铁石榴石（YIG）薄膜铁磁共振线宽的影响。实验中微米级的YIG薄膜通过磁控溅射法在Gd_3Ga5O12（GGG）（111）衬底上制备,并通过750～950℃常压常规退火及750～850℃真空快速退火两种方式对薄膜进行退火晶化处理。最终系统地研究了薄膜的微观晶体结构、磁性能和铁磁共振线宽性能。研究发现,经过800℃,10 min的真空快速热处理的YIG薄膜磁性能优异,其铁磁共振线宽为2 626.1 A/[email protected],阻尼系数α=2.077×10^-3,薄膜表面粗糙度为1.