【摘 要】
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提出了一种面向人工耳蜗的基于聚酰亚胺的柔性微电极阵列。采用薄膜微加工工艺,形成金属-聚酰亚胺-金属三明治结构。为研究器件的长期稳定性,进行了加速老化实验。将器件放置
【机 构】
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上海交通大学微纳电子学系微米/纳米加工技术国家级重点实验室;
【基金项目】
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国家自然科学基金资助项目(51475307);装备预研教育部联合基金资助项目(6141A022606)
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提出了一种面向人工耳蜗的基于聚酰亚胺的柔性微电极阵列。采用薄膜微加工工艺,形成金属-聚酰亚胺-金属三明治结构。为研究器件的长期稳定性,进行了加速老化实验。将器件放置在质量分数为0.9%的生理盐水中,并在恒温97℃下浸泡6个月后,微电极的平均电荷存储能力由10.34mC/cm2下降到2.44mC/cm2,1kHz下的平均阻抗则从3.66kΩ上升到5.76kΩ。实验结果表明,微电极的电化学性能没有受到较大影响。根据实验结果,可推算出在人体温度(37℃)的情况下,器件工作寿命可达32年。
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