纳米ZrO2薄膜的制备与表征

来源 :材料研究学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:dsb5519
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用水热盐溶液水解法可合成含有单斜相晶态纳米ZrO2颗粒的ZrO2溶胶体用匀胶法制备的纳米 ZrO2薄膜厚度约 160nm,折光率为 1.56.纳米 ZrO2薄膜表面质量良好,无表面裂隙,台阶仪研究表明薄膜表面粗糙度算术差Ra=2.7nm,均方根差Rq=3.7nm.以 ZrO2为高折射率膜层,碱催化的溶胶凝胶 SiO2为低折射率膜层,制备了SiO2/ZrO2多层高反射率薄膜,10周期的 SiO2/ZrO2多层膜系,在 1.06μm波段处透过率为 1%;薄膜表面抗激光损伤阈值约 15J/cm2(1.06μm,
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