【摘 要】
：
通过大剂量氧离子注入(150key,2×10~(18)O~+/cm~2)及高温退火(1100℃,8h)便可形成质量较好的SIMOX结构。本文报道了制备在硅膜厚度为160nm的SIMOX结构上的短沟道CMOS/SIMOX
【机 构】
：
北京师范大学低能核物理研究所,陕西微电子学研究所,北京师范大学低能核物理研究所,陕西微电子学研究所
论文部分内容阅读
通过大剂量氧离子注入(150key,2×10~(18)O~+/cm~2)及高温退火(1100℃,8h)便可形成质量较好的SIMOX结构。本文报道了制备在硅膜厚度为160nm的SIMOX结构上的短沟道CMOS/SIMOX电路特性。实验结果表明:薄硅膜器件有抑制短沟道效应(如阈值电压下降)、改善电路的速度性能等优点,因而薄硅膜SIMOX技术更适合亚微米CMOS IC的发展。
The SIMOX structure with good quality can be formed by high dose oxygen ion implantation (150key, 2 × 10 ~ (18) O ~ + / cm ~ 2) and high temperature annealing (1100 ℃, 8h) This paper reports the characteristics of short-channel CMOS / SIMOX circuits fabricated on a SIMOX structure with a silicon film thickness of 160 nm. The experimental results show that the thin silicon film SIMOX technology is more suitable for the development of submicron CMOS IC because of its advantages of suppressing short-channel effect (such as threshold voltage drop) and improving the speed performance of the circuit.
其他文献
一教科书的修订情况本次主要从调整单元结构、增强内容与习题的关联度、加强数学思考和数学活动、重构问题解决编写体例等方面对原教科书进行了修订。1.适当调整了单元结构。
2008年8月8日,北京奥运会开幕。也就在这天,离北京500公里之外的内蒙古自治区赤峰市敖汉旗长胜镇的一个小山村外,远远地走来了两个人,他们一人手里提着新鲜的肉,另一人拿着几
8月26日《京华时报》报道,近日,受国务院委托,国家发改委主任张平向全国人大常委会报告了近年来转变发展方式、调整经济结构的进展情况。张平在报告中提到,我国将深化收入分
丘陵区过去营造杉木林,有的适地适树注意不够,加之整地粗放或抚育不及时,管理不善,往往容易形成“小老头”。主要表现是衰老、平顶、弯曲、萌芽丛生,生长缓慢。这些看来没有
摘要 在小学英语教学中，必须以学生为中心，创设愉悦的情景，激发学生学习英语的兴趣，培养学生的英语交际能力，做到寓教于乐。实践证明，运用情境教学法不但能充分调动学生众多感官参与语言学习，而且还能激发学生的学习兴趣，培养学习能力，提高智力水平，使学生学于其中，乐于其中，感于其中，从而提高教学质量。 关键词 小学英语 情境教学 方法 情境教学在小学英语中是必不可少的，也是非常有用的。英语情境式
今年1月,我国南方发生了极为严重的低温雨雪冰冻灾害,持续时间之长,覆盖地域之广,历史罕见。面对严重灾情,万众一心,打响了一场抗击雨雪冰冻灾害的攻坚战,在寒冷的冬日里,谱
又是一个隆冬时节,五家渠市水源地——101团一连三片区,这里的土地在厚厚的积雪下休养生息,静静地等待着下一个丰收的季节。看着这片寂静而又充满生机的土地,五家渠市人大代
本文以一些实例和所得到的结果来说明Ar~+离子在抑制晶向腐蚀作用、调节钝化阻挡层,以及清除微粒淀积物等方面的作用。
In this paper, some examples and the results obta
F5280是北大方正今年继推出F5180系列超轻薄扫描仪之后,又新推出的一款以“超轻薄主义”为主导的扫描仪产品。它采用CCD光学扫描器件。具有600dpi×2400dpi的分辨率以及42位
研究了加拿大南部冬小麦田在轮作、耕作和行距共同作用下的土壤温度动态。田间裂区试验主区为 3个轮作 (冬小麦连作、冬小麦 /油菜轮作和冬小麦 /夏休闲 ) ,副区包括两种耕作