【摘 要】
：
文章描述了氧等离子干法剥离光刻胶中MOS器件的性能退化问题,并且制备了不同天线比AR(Antenna Ratio),相同器件结构的NMOS器件来检测器件的退化.实验结果发现栅漏电流密度Jg
论文部分内容阅读
文章描述了氧等离子干法剥离光刻胶中MOS器件的性能退化问题,并且制备了不同天线比AR(Antenna Ratio),相同器件结构的NMOS器件来检测器件的退化.实验结果发现栅漏电流密度Jg和阈值电压Vt漂移会随着Al的天线面积的增加而非线性地增加,尤其表现在阈值电压漂移上.运用增加电流应力时间的测试来模拟器件在等离子反应腔中所受的实际应力,发现了与天线比增加时阈值电压变化趋势相同,表明在氧等离子气氛中器件受到了负电应力的影响.最后,基于此次实验的结果,在器件的设计,工艺参数的制定方面提出了一些减小干法剥离
其他文献
任何行业的成功，仅仅依靠产品的品牌是不够的，整体人员的忠诚度常常像一只无形的手，在左右着公司业绩。然而现在很多的酒店为了提升员工的忠诚度，有的对新员工开设“忠诚员工”课
计算机软件工程是我国互联网发展的一大产业，属于新型技术领域，我国大部分新技术改进，都是建立在计算机软件工程的基础上，推进技术应用。实际计算机软件工程仍旧存在有待解决的问
古诗词以其高度的思想价值和艺术价值成为中国文学艺术宝库中一颗璀璨的明珠。古诗词是中学语文教育的主要内容，学好古诗词是中国传统文化的有效传承。在新课改下，语文教材中都
污水处理厂的设备运行环境复杂、设备种类多、维修频率高等因素制约着污水厂的稳定运行，为了变被动抢修为主动保养和定期维修，本文通过多年的污水厂设备运行经验对设备管理问题
考核是人事管理的重要环节,为了适应人事管理制度的改革,在图书馆管理工作中,有必要提高对考核工作的认识并不断研究和探索考核工作的措施和方法,为逐步健全人事管理制度和管
学习历史学科，记忆力是非常重要的。在教学中，提高学生的记忆力，是提高学生成绩，提升教师教学水平的关键所在。那么，如何提高学生的记忆力呢？本人根据近几年的教学经验总结如下。
近些年来我国自动焊接技术的日趋完善，这种焊接技术在机械加工行业领域中运用的越来越普遍。自动焊接技术的应用不仅降低了生产成本，还提高了生产效率。本文具体分析了自动焊接
本文使用结构线替代传统的硅片多线切割用线直钢丝方法，在切割硅块过程中，会增大碳化硅颗粒的附着力，不容易从钢线表面脱落，使钢线携带比较多的砂浆参与硅块的切割。也大大提高了
历史学是一门以时间、空间为维度的科学。谈及任何历史事件、事物、人物，都要界定它的时间段落和空间范围。历史的空间范围这里不去说它。历史的时间是历史学习中经常运用的一
分组交换网是当今全球通信基础设施的重要部分,IP网络终将与其他网络相互融合,演化成为新一代网络技术.现有路由协议的实现是单一的,并且将数据库、最优路径计算和网络状态分