【摘 要】
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新型材料、先进集成封装技术和新型微架构的不断涌现,促使光电领域装备向轻量化、智能化、一体化方向发展.微系统所带来的性能和功耗改进,使装备的全面/跨代升级成为可能,具
【机 构】
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光电信息控制和安全技术重点实验室,天津300308
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新型材料、先进集成封装技术和新型微架构的不断涌现,促使光电领域装备向轻量化、智能化、一体化方向发展.微系统所带来的性能和功耗改进,使装备的全面/跨代升级成为可能,具有重要的军事应用前景.文中关注微系统在光电领域的应用,梳理现阶段各研究机构在半导体及光频微系统领域的规划部署,并对光频微系统的军事应用前景进行展望.
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