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对电子束轰击炉电子光学系统磁聚焦过程中产生的球差进行了研究。分析了有限放大倍数下磁透镜产生的球差系数。根据两个磁透镜各自的球差系数建立了双聚焦系统球差系数的数学模型。为减小球差对双聚焦系统聚焦效果的影响提供理论依据。
球差对电子束轰击炉电子光学系统磁聚焦的影响研究
【摘 要】
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对电子束轰击炉电子光学系统磁聚焦过程中产生的球差进行了研究。分析了有限放大倍数下磁透镜产生的球差系数。根据两个磁透镜各自的球差系数建立了双聚焦系统球差系数的数学
【机 构】
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河北建筑工程学院,
【出 处】
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真空科学与技术学报
【发表日期】
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2012年09期
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