制作标准具滤光片用的镀膜工艺

来源 :激光与光电子学进展 | 被引量 : 0次 | 上传用户：qkhp3

【摘要】

：

美国光学镀膜实验室(OCLI)先进产品部最近宣布研制成厚膜镀制工艺,用这种工艺生产的单片电介质薄膜厚度可达100μm。正用作标准具滤光片的间隔 The Advanced Coatings Divi

【作者】

：

从征

【出处】

：

激光与光电子学进展

【发表日期】

：

1989年01期

【关键词】

：

滤光片标准具电介质薄膜产品部厚膜镀膜工艺间隔层

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美国光学镀膜实验室(OCLI)先进产品部最近宣布研制成厚膜镀制工艺,用这种工艺生产的单片电介质薄膜厚度可达100μm。正用作标准具滤光片的间隔 The Advanced Coatings Division of the American Optical Coating Laboratory (OCLI) recently announced the development of a thick film plating process using a monolithic dielectric film thickness of up to 100 μm. Is used as a standard filter interval

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