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对作为波分复用关键器件之一的刻蚀衍射光栅(EDG)的像差特性提出了一种简单方便的计算方法，分析了像差对刻蚀衍射光栅频谱响应的影响．理论推导了基于基尔霍夫衍射、角谱衍射以及快速傅里叶变换等方法．最终证明彗差会造成谱形失称，明显降低耦合效率；而球差则会明显地增加串扰．并指出当像差存在时通过输出增加taper结构，并不能显著改善器件的串扰特性．