【摘 要】
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MEMS技术在毫米尺度制造中站主导地位，然而在厘米尺度甚至更大尺度下的机构仍是使用许多传统方法制造的．在毫米至厘米尺度范围内存在的介观尺度的器件仍难以制造。针对在这种尺
【基金项目】
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教育部新世纪优秀人才支持计划(NVET 10-0583);教育部支撑项目(62501040303);国防项目(9140A26020313JW03371)
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MEMS技术在毫米尺度制造中站主导地位，然而在厘米尺度甚至更大尺度下的机构仍是使用许多传统方法制造的．在毫米至厘米尺度范围内存在的介观尺度的器件仍难以制造。针对在这种尺度内的仿生微扑翼飞行器和其复杂微小结构极难手工装配的制造工艺问题，提出了一种三维整体结构的多功能制造方法，即由包含刚性层和柔性层的多片图案化碳纤维层在多个选定的位置处进行叠置和粘结，形成具有多个层间粘结的层压结构，并且在这种层压结构中刚性层之间的柔性层可以挠曲伸展成三维结构。使用这项工艺方法，制造出了一架重约100mg的可从平面结构伸展成三
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