非晶GeO2—SiO2复合薄膜的制备及其红外吸收谱

来源 :武汉大学学报:自然科学版 | 被引量 : 0次 | 上传用户:limutou
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采用锗-硅复合靶射反应溅射技术,制备了GeO2含量x=0%-81%的非晶GeO2-SiO2复合薄膜,用自动椭偏仪进行测量,得到复合氧化物薄膜中GeO2的含量。用傅里叶变换红外光谱仪测得此种薄膜的红外吸收谱随GeO2含量的变化关系,并讨论了其结构特征。
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