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本文通过硼微晶玻璃片状扩散源在肖特基二极管中的使用过程，概述了Φ７５×３ｍｍ硼微晶玻璃片状扩散源的扩散原理，扩散方法，实验过程，总结实验结果，给出了有关数据，讨论了存在的问题。
硼微晶玻璃片状扩散源在肖特基二极管中的应用研究
【摘 要】
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本文通过硼微晶玻璃片状扩散源在肖特基二极管中的使用过程，概述了Φ７５×３ｍｍ硼微晶玻璃片状扩散源的扩散原理，扩散方法，实验过程，总结实验结果，给出了有关数据，讨论了存在的问题。
【机 构】
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济南市半导体研究所
【出 处】
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山东电子
【发表日期】
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1999年1期
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