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研究了利用微波等离子体化学气相沉积方法制备的金刚石膜的拉曼光谱，讨论了金刚石膜中的非金刚石碳相与甲烷浓度、基板温度之间的关系。
金刚石膜的拉曼光谱研究
【摘 要】
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研究了利用微波等离子体化学气相沉积方法制备的金刚石膜的拉曼光谱，讨论了金刚石膜中的非金刚石碳相与甲烷浓度、基板温度之间的关系。
【机 构】
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延边大学理工学院物理系
【出 处】
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延边大学学报(自然科学版)
【发表日期】
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2000年4期
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