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超深亚微米非对称Halo LDD低功耗新器件的研究分析

来源 :半导体学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：guocheng2244

【摘 要】

：

提出了一种新的器件结构——非对称Halo LDD低功耗器件，该器件可以很好地抑制短沟效应，尤其可以很好地改善DIBL效应、热载流子效应以及降低功耗等，是低功耗高集成度电路的优选结

【作 者】

：

田豫 黄如 

【机 构】

：

北京大学微电子所

【出 处】

：

半导体学报

【发表日期】

：

2003年5期

【关键词】

：

超深亚微米 非对称 HaloLDD 低功耗 高集成度电路 asymmetry Halo LDD low power simulation 

【基金项目】

：

国家重点基础研究专项基金资助项目 (编号 :2 0 0 0 0 36 5 0 1)~~

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提出了一种新的器件结构——非对称Halo LDD低功耗器件，该器件可以很好地抑制短沟效应，尤其可以很好地改善DIBL效应、热载流子效应以及降低功耗等，是低功耗高集成度电路的优选结构之一．分析了非对称Halo LDD器件的主要特性，并将其与常规结构、非对称LDD结构、非对称Halo结构的器件进行了比较并进行了参数优化分析．

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