低能电子衍射(LEED)仪的超高真空系统

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低能电子衍射(LEED)仪是一种基本的表面仪器。它可以对绝大多数单晶物质的表面结构进行非破坏性的测定。到目前为止,所得到的绝大多数表面结构信息是用LEED获得的。LEED要求分析室内真空度为10~(-10)托量级[1]。这是因为 LEED是测定清洁的单晶表面结构。以及表面重构和表面上 Low energy electron diffraction (LEED) instrument is a basic surface instrument. It can be non-destructive determination of the surface structure of most single crystal materials. So far, the vast majority of surface texture information obtained has been obtained using LEED. LEED requirements analysis of indoor vacuum degree of 10 ~ (-10) on the order of magnitude [1]. This is because LEED is a measure of clean single crystal surface structure. As well as surface reconstruction and superficiality
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