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近几年计算能力，计算速度、图像分析、数据处理技术的不断提高，极大地推进了三维表面微观形貌测量仪的实用化和商品化。对最近文献中出现的三维分析方法和表征参数，如基准表面、图形（像）表征、等进行了综述，提出了三维表征技术的任务和发展方向。
三维表面微观形貌的表征趋势
【摘 要】
：
近几年计算能力，计算速度、图像分析、数据处理技术的不断提高，极大地推进了三维表面微观形貌测量仪的实用化和商品化。对最近文献中出现的三维分析方法和表征参数，如基准表面、
【出 处】
：
中国机械工程
【发表日期】
：
2000年5期
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