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近日，KLA—Tencor和TEL宣布推出一款全新的制模和库产生软件包AcuShape^TM，以满足32奈米制程技术及更先进技术的光学临界尺寸测量要求。
KLA和TEL推出全新软件包ACUSHAPETM
【摘 要】
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近日，KLA—Tencor和TEL宣布推出一款全新的制模和库产生软件包AcuShape^TM，以满足32奈米制程技术及更先进技术的光学临界尺寸测量要求。
【出 处】
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中国集成电路
【发表日期】
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2009年6期
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