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针对现有的相位提取算法只对某些特定的误差不敏感，不能满足高精度光学检测的要求，本文引入一种等间隔多步移相算法一权重待定的加权最小二乘算法。通过在最小二乘算法中添加待定的权重，分析移相点衍射干涉仪中多种误差源对算法的影响，获得多组约束方程，从而确定权重和新算法。对新算法和标准四步算法、Hariharan五步算法进行比对分析，验证了新算法对PZT线性和二阶非线性移相不准、光强的一阶二阶波动和光源频率一阶二阶波动等误差抑制能力远远优于标准四步算法和Hariharan五步算法；新算法对CCD的量化误差、光强噪声、