【摘 要】
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前言 近十年来,国内半导体压阻传感器的研制和生产获得迅速发展,这是由于它具有灵敏度高,频率响应快,体积小,性能稳定、可靠,寿命长等特点,使之在国民经济各个领域获得广泛
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前言 近十年来,国内半导体压阻传感器的研制和生产获得迅速发展,这是由于它具有灵敏度高,频率响应快,体积小,性能稳定、可靠,寿命长等特点,使之在国民经济各个领域获得广泛应用。每一次压阻传感器性能的较大提高都是和采用先进的新技术、新工艺分不开的。在过去和将来的一段时间内,封装技术落后仍然是阻碍压阻传感器性能提高的重要因素之一。静
Preface The past decade, the development and production of domestic semiconductor piezoresistive sensor has gained rapid development, which is due to its high sensitivity, fast frequency response, small size, stable performance, reliable, long life and other characteristics, so that in all areas of the national economy Widely used. Each time piezoresistive sensor performance is greatly improved and the use of advanced new technology, new technology can not be separated. In the past and some time in the future, the backward packaging technology is still hindered the piezoresistive sensor performance is one of the important factors. Static
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