Ti／Al2O3界面反应的俄歇电子能谱研究

来源 :真空科学与技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户：cai_yankun

【摘要】

：

用俄歇电子能谱详细研究了Ｔｉ／Ａｌ２Ｏ２的界面反应。通过观察Ｔｉ的Ｌ２３Ｍ２３Ｍ４５，Ｌ２３Ｍ２３Ｍ２３及Ａｌ的ＬＶＶ俄歇发射强度、峰形及位置随深度变化，研究了Ｔｉ－Ｏ，Ａｌ－Ｏ，Ｔｉ－Ａｌ等价键结合状态，同时考察Ａｌ不同化合态俄歇峰的化学位移。选取特征峰，进行Ａｕｇｅｒ深度分

【作者】

：

王佑祥顾诠

【机构】

：

中国科学院半导体研究所,中国科学院表面物理国家重点实验室

【出处】

：

真空科学与技术

【发表日期】

：

1996年5期

【关键词】

：

界面反应俄歇电子能谱氧化铝陶瓷 Ti/Al_2O_3 Interface reaction Auger electron spectroscopy

【基金项目】

：

国家自然科学基金

下载到本地 , 更方便阅读

下载此文赞助VIP

声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架

论文部分内容阅读

用俄歇电子能谱详细研究了Ｔｉ／Ａｌ２Ｏ２的界面反应。通过观察Ｔｉ的Ｌ２３Ｍ２３Ｍ４５，Ｌ２３Ｍ２３Ｍ２３及Ａｌ的ＬＶＶ俄歇发射强度、峰形及位置随深度变化，研究了Ｔｉ－Ｏ，Ａｌ－Ｏ，Ｔｉ－Ａｌ等价键结合状态，同时考察Ａｌ不同化合态俄歇峰的化学位移。选取特征峰，进行Ａｕｇｅｒ深度分析。实验表明室温下Ｔｉ－Ａｌ价键结合状态。原子浓度分布曲线显示界面反应区域随退火温度增加而变宽变高。８６５０

其他文献

新型自复式过电流保护器件

采用将形状记忆合金材料过热发生形状突变和正温度系数材料自动恒温的特性相结合的原理，研制了一种新型自复式保护器件。该保护器件具有可重复使用，导通电阻值低，限流动作速度快

期刊

自复式保护器件形状记忆合金过电流保护器件Resettable protectorSMAPTC

广州市福利房物业管理可以聘请物业管理公司

今年3月，广州市人大代表在市十一届人大五次会议上提议，政府有关部门应尽早拿出一个关于福利房物业管理的办法。日前，广州市国土资源与房屋管理局对这一建议正式作出答复，认为福

期刊

福利物业管理公司国土资源广州市部门房屋管理局政府人大代表办法会议

缺血性视乳头病变证治3例

笔者运用辨证与辩病相结合的方法,治疗缺血性视乳头病变,取得了满意疗效,现报告三例.案1:男,63岁,因左眼视突然下降16天,于99年3月8日入院.患者于16天前早晨起床后,突觉视物

期刊

视乳头病缺血性中医药疗法验案

常压化学气相沉积方法制备非晶硅薄膜及其光致发光性能研究

使用改进的常压化学气相沉积(APCVD)系统制备了非晶硅薄膜,测量了样品的光致发光特性,使用Raman光谱和X射线光电子能谱(XPS)谱测量了薄膜的微结构特征.样品在523 nm出现发光

期刊

非晶硅薄膜RAMAN光谱光致发光特性XPS谱X射线光电子能谱(XPS)发光峰纳米晶粒性能研究化学气相沉积薄膜结构Photoluminesce

发光屏动态测试系统的研制

利用机械泵和涡轮分子泵为核心组成的发光屏动态测试系统。只需40min左右就可获得1×10^-4Pa的真空度。由于电子枪采用了LaB6阴极，可暴露于大气；并且利用光纤传输光信号，连

期刊

发光屏动态测试系统荧光粉光谱亮度动态真空系统

基于MATLAB的电化学滴定曲线导数变换的实现

利用MATLAB软件的命令行编程、一维离散小波的工具箱GUI功能和Simulink仿真三种方式,以电位滴定曲线为例,分别对电化学滴定曲线进行导数变换,以提高仪器检出信号和曲线突跃点

期刊

电化学滴定曲线导数变换electrochemistry titration curve derivative transformation

常柴4H11多缸柴油机

主要特点：①燃油经济性好。②振动小。③动力强劲。④重量轻。⑤可作为90—100马力轮拖、三四行收割机的配套动力。

期刊

多缸柴油机燃油经济性收割机

拒交物业管理费，法院判决业主败诉

业主几年来拒绝交纳物业管理费，被物业管理公司告上法庭。武汉市首例物业管理公司状告业主案，法庭作出判决：物业管理公司胜诉。2001年8月，武汉某物业管理公司，将其所辖的大厦拒交

期刊

物业管理费物业管理公司业主支付滞纳金武汉市大厦法庭法院判决败诉

挤压-剪切镁合金的阳极氧化研究

为了研究晶粒细化对镁合金阳极氧化膜的质量和性能的影响,采用阳极氧化的方法在常规变形镁合金和挤压-剪切大塑形变形后获得的细晶粒镁合金表面制备氧化膜,研究了常规变形镁

期刊

挤压-剪切细晶粒镁合金阳极氧化耐蚀性extrusion-shearing process（ES） ultra-fine grained magnesi

湖南推动湘产农村对接印度市场

11月28日下午，由湖南省贸促会、印度驻广州总领事馆共同主办的中印商务理事会联络办公室（湖南）揭牌仪式暨中印经贸合作研讨会在长沙举行。中国贸促会副会长卢鹏起、湖南省政协副

期刊

印度市场湖南省中国贸促会对接农村揭牌仪式中国大使馆经贸合作

Ti／Al2O3界面反应的俄歇电子能谱研究

与本文相关的学术论文