【摘 要】
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<正> 由于在半导体材料生产中所使用的氯化氢要求纯度高,这就决定了对其中的杂质（特别是含氧物,如O2、CO、CO2等）含量作直接高灵敏的控制和检测的必要性。许多文献介绍了氯化氢
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<正> 由于在半导体材料生产中所使用的氯化氢要求纯度高,这就决定了对其中的杂质（特别是含氧物,如O2、CO、CO2等）含量作直接高灵敏的控制和检测的必要性。许多文献介绍了氯化氢和含氯化氢混合气的色谱分析。由于氯化氢的化学反应能力强,致使分析工作遇到了特殊困难。为了进行分析,仪器的结构部件如取样器、柱子、检测器等必须耐腐蚀,并选择相应的吸附剂和固定液相。此外,还必须精心干燥
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