【摘 要】
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在对现有微操作中夹持力问题进行分析的基础上,提出了一种基于面内侧壁压阻的力传感器加工方法,成功地在MEMS微夹持器上集成了压阻式的力检测传感器,对夹持力的检测反馈实现
【机 构】
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苏州大学机器人与微系统研究中心,哈尔滨工业大学机器人技术与系统国家重点实验室,中科院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点联合实验室
【基金项目】
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国家杰出青年基金资助项目(50725518);国家高技术研究发展计划(863)资助项目(2007AA04Z315);国家自然科学基金资助项目(50805040)
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在对现有微操作中夹持力问题进行分析的基础上,提出了一种基于面内侧壁压阻的力传感器加工方法,成功地在MEMS微夹持器上集成了压阻式的力检测传感器,对夹持力的检测反馈实现了微操作的闭环控制.该方法利用离子注入工艺和深度反应离子刻蚀(DRIE)工艺相结合制作检测梁侧壁压阻,改善了侧壁压阻工艺与其他工艺间的兼容性问题.最后通过压电叠堆驱动平台结合精密电子秤对压阻传感器进行了标定.测试表明,这种微力传感器加工技术可以很好地与其他工艺相兼容,力传感器的灵敏度优于72V/N,分辨率优于3μN.
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